MPCS-100渦輪分子泵組產(chǎn)品介紹
MPCS-100渦輪分子泵組可為物理吸附儀、化學(xué)吸附儀等多類(lèi)儀器提供1×10-6Pa的極限真空度,無(wú)需單獨配置分子泵控制器,并加入*的真空監測與泵組工作調節裝置
■ 儀器性能優(yōu)勢
1. 無(wú)需單獨購置控制器
2. 渦輪分子泵的出入口壓力值可監測
3. 擁有前后級工作調節裝置,避免前級泵反油對渦輪分子泵的影響
4. 泵組的工作全部智能控制,無(wú)需人員介入
5. *的法蘭連接結構,有效提高入口氣密性
■ 產(chǎn)品應用*技術(shù)
1. *的智能控制系統
采用彼奧德研發(fā)團隊提供的MPCS控制系統,通過(guò)對各關(guān)鍵點(diǎn)的壓力及工作狀態(tài)監控,有效的對泵組各部分工作狀態(tài)進(jìn)行調節和控制,并有效提高泵的工作效率及使用壽命
2. 應用*的法蘭結構
3. 前級泵與渦輪分子泵配置調節裝置
· 技術(shù)參數
· 極限真空:1×10-6Pa
· 前級泵抽速:采用I-PID技術(shù)可調
· 供電系統:與MPCS控制系統集成
· 控制系統:采用MPCS控制系統,可智能控制并有效
· 協(xié)調前后級工作狀態(tài)